干涉仪是一种利用干涉原理来测量物理量的精密仪器,广泛应用于光学、机械学等领域,其检测原理与接触式干涉仪有所不同。
干涉仪的检测原理主要是基于光的干涉现象,当两束或多束光波在空间某些区域相遇时,会发生叠加,形成干涉现象,这些光波可以是相干光波,也可以是非相干光波,干涉仪通过精确控制光波的相遇点,并利用干涉条纹的形成和变化来测量物理量,如长度、厚度、折射率等,干涉仪具有高精度和高灵敏度的特点,广泛应用于精密测量和科学研究领域。
接触式干涉仪是干涉仪的一种特殊类型,其检测原理与常规干涉仪有所不同,接触式干涉仪在测量时,测量头与被测表面直接接触,通过接触点的微小位移,引起干涉条纹的变化,这些变化与接触点的物理特性有关,如表面形状、粗糙度等,通过对干涉条纹的分析和处理,可以获取被测表面的形状和精度信息,接触式干涉仪具有测量精度高、适用范围广等特点,常用于表面形貌测量、光学元件检测等领域。
干涉仪的检测原理基于光的干涉现象,通过精确控制光波的相遇点并利用干涉条纹来测量物理量,而接触式干涉仪则是在测量过程中通过接触点与被测表面的微小位移引起的干涉条纹变化来获取信息,这两种类型的干涉仪在原理和应用上有所不同,但都具有高精度和高灵敏度的特点。